有机发光二极管（OLED）蒸镀工艺

1. 工艺基础概念
   有机发光二极管（OLED）蒸镀工艺，是一种在真空环境下，通过加热蒸镀源材料使其升华或蒸发，随后蒸气在低温基板表面凝结形成固态薄膜的物理气相沉积技术。该工艺的核心目的是将不同的有机功能材料（如空穴注入层、发光层、电子传输层等）以及金属电极，以极高的纯度、精确的厚度和图案，沉积在玻璃或柔性基板上，构成OLED像素发光单元。

2. 真空环境与腔体
   蒸镀过程必须在高真空腔体（通常真空度优于10^-4 Pa）中进行。此环境有三重关键作用：一是大幅减少空气分子，避免蒸发的有机材料分子与气体分子碰撞发生氧化或污染，保证薄膜纯净；二是确保材料蒸气能沿直线传输，实现图案的精细定位；三是减少热传导，维持加热源与基板间的必要温差。真空腔体内主要包含蒸镀源、基板架、掩膜版及其精密对位系统。

3. 蒸镀源与材料加热
   有机材料通常置于称为“坩埚”的加热容器中。通过电阻加热或更先进的感应加热方式，精确控制加热温度（略高于材料升华点）。材料受热后，分子获得足够动能脱离固体表面，形成定向蒸气流。对于金属电极（如铝、银），则常采用电子束蒸镀，即用高能电子束轰击金属靶材使其瞬间蒸发，实现高熔点金属的沉积。

4. 精细金属掩膜版
   这是实现RGB像素阵列图案化的关键工具。它是一张极薄的金属板（通常为因瓦合金），上面通过激光或化学蚀刻出与显示面板像素排列完全一致的精密开口。蒸镀时，掩膜版紧贴基板，有机蒸气只能通过开口沉积到基板特定位置，形成红、绿、蓝子像素。掩膜版的张力控制、热变形（蒸镀时受热膨胀）以及对位精度（微米级）直接决定了像素的清晰度和面板分辨率。

5. 薄膜形成与质量控制
   有机材料蒸气分子到达相对低温的基板表面后，失去动能而凝结吸附，通过表面扩散成核，最终生长成均匀、致密的薄膜。薄膜的厚度（通常几十到几百纳米）、均匀性（整面偏差需<±3%）、结晶形态和界面特性，由蒸发速率、基板温度、腔体压力共同决定，需要精密的过程控制。任何杂质、厚度不均或掩膜版对位偏移，都可能导致像素发光颜色偏差、亮度不均或短路等缺陷。

6. 工艺挑战与发展
   传统FMM蒸镀工艺面临大尺寸掩膜版易下垂、对位精度难以维持的挑战，限制了OLED电视面板尺寸和分辨率的提升。为应对此问题，行业正发展如“顶发光”结构（从薄膜晶体管电路上方发光，提高开口率）、白光OLED+彩色滤光片（无需FMM图案化RGB发光层）、以及喷墨打印OLED等技术路线，以突破蒸镀工艺的物理限制，实现更经济的大尺寸、高分辨率OLED显示制造。